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導航
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PRODUCT
產品信息
OPTM series 嵌入型
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點,在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。...
全國熱線
0512-62589919

產品信息

  特 點

● 膜厚測量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)

● 膜厚值高重復精度

● 1點1秒以內的高速測量

● 最小小點Φ3μm)中瞄準模式

● 最適合圖案晶片的膜厚映射

● 能夠取得圖案對準用圖像


  裝置組裝示意圖

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  測量數據示意圖

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  測量光點周邊圖像

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  適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等


  式樣

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